等离子有机废气净化器是一种新型、高效的干法处理有机废气的净化设备，它改变了使用活性炭材料的工艺技术，无需再生处理原料，无需专人负责，无产生二次污染，更换及维护保养方便，是近年来治理有机废气技术中进的一项技术。
   
在处理过程中，当有机气体进入冷离子体反应室时，气体被均匀分配到等离子反应室（PRC）。反应室分成149根六边形管子，每根管子的中央有一根冠状电线，与反应室独立隔开。通过高压线对反应室导通可调节高压，高压导通到管子里的管状电线上。由电线至管壁产生放电现象。一旦放电，等离子体电子就与气体分子相撞击，产生化学性活性核素，就是通常所说的激进和负荷载体。此外，还具有微型静电沉淀器的功能，该装置可以除尘。同时注入环境或者二级气体来优化反应室的湿度和温度登记，与此同时加入离子来改善反应室内的反应。这种冷离子体处理方法使有机气体在低温下进行“氧化”。
 
净化原理图如下：

 
等离子体化学反应大致如下：